平面研磨加工根据数据分析表明，随着研磨压力和速度的增加,工件表面硬化程度变大。但是也不能盲目增加研磨压力和研磨速度，过大的压力会使工件破碎，过快的速度会是工件塌边，尤其是在用平面研磨机研磨脆性材料时。
这种增加表面硬度的研磨工艺大多只适应于金属材料的研磨抛光加工，不适应于过于脆，薄和易碎工件，比如：过薄的玻璃，硅片，蓝宝石衬底等。
平面研磨机为精密研磨设备，被研磨产品放置于研磨盘上，研磨盘逆时钟旋转，工件自己转动，用重力加压的方式对工件施压，工件与研磨盘作相对旋转磨擦，相反像铝合金，锌合金，不锈钢，钢材，铜材，铝材，钛合金等金属类可以使用此工艺。
研磨后,工件表面发生位错增殖,从而导致位错密度增加;同时由于位错的运动,导致位错的交割。这两种现象均导致了已加工表面的硬化,这也是工件表面硬化的主要原因。
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